| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 激光直写刻蚀机 | CGYX2024223 | A02100309 激光仪器 | 设备名称:激光直写刻蚀机采购数量:1性能指标: (1)激光器:355nm飞秒紫外激光器 (2)激光器功率:额定10W飞秒紫外激光器 (3)激光器脉冲宽度:<350fs (4)激光器频率范围:25Hz-5000kHz (5)扩束镜:2-8x扩束 (6)扫描振镜:10mm通光孔径 (7)单次切割幅面:40*40mm (8)扫描速度:最大速度4000mm/s (9)最小聚焦光斑:5μm (10)最小线宽:3μm (11)最小线间距:大于等于5μm (12)加工幅面:300*300mm向下可兼容等任意尺寸 (13)XY直线电机定位精度:±2μm (14)直线度:±3μm (15)XY直线电机垂直度:±5μm/300mm (16)XY直线电机重复精度:±1μm (17)XY直线电机最大速度:500mm/s (18)Z轴行程:50mm (19)步进电机精度:±5μm(可兼容0.01-10mm基材厚度) (20)旋转平台:平台直径300mm、载重80kg、重复定位精度 <0.005° (21)CCD自动定位精度:±2μm(22)平台平面度:±5μm(23)配置手套箱 | 256 | 2024年11月 |