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江苏南京理工大学2024年政府采购意向公开(第181批)

公告-采购意向
江苏
发布时间:2024-10-15
内容详情
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为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将南京理工大学2024年政府采购意向公开(第181批)政府采购意向公开如下:

序号采购项目名称 意向编号采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注
1激光直写刻蚀机CGYX2024223A02100309 激光仪器设备名称:激光直写刻蚀机采购数量:1性能指标:
(1)激光器:355nm飞秒紫外激光器
(2)激光器功率:额定10W飞秒紫外激光器
(3)激光器脉冲宽度:<350fs
(4)激光器频率范围:25Hz-5000kHz
(5)扩束镜:2-8x扩束
(6)扫描振镜:10mm通光孔径
(7)单次切割幅面:40*40mm
(8)扫描速度:最大速度4000mm/s
(9)最小聚焦光斑:5μm
(10)最小线宽:3μm
(11)最小线间距:大于等于5μm
(12)加工幅面:300*300mm向下可兼容等任意尺寸
(13)XY直线电机定位精度:±2μm
(14)直线度:±3μm
(15)XY直线电机垂直度:±5μm/300mm
(16)XY直线电机重复精度:±1μm
(17)XY直线电机最大速度:500mm/s
(18)Z轴行程:50mm
(19)步进电机精度:±5μm(可兼容0.01-10mm基材厚度)
(20)旋转平台:平台直径300mm、载重80kg、重复定位精度 <0.005°
(21)CCD自动定位精度:±2μm(22)平台平面度:±5μm(23)配置手套箱
2562024年11月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2024年10月15日


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