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江苏南京理工大学2026年政府采购意向公开(第67批)

公告-采购意向
江苏
发布时间:2026-03-05
内容详情
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为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将南京理工大学2026年政府采购意向公开(第67批)政府采购意向公开如下:

序号采购项目名称 意向编号采购品目采购需求概况预算金额(万元)预计采购日期备注
13D光学轮廓检测系统CGYX2026067光学计量仪器包括3D光学测量头主机一套、3D采集及测绘软件一套、高精度防震系统一套、高精度位移系统一套,具体需求指标如下:*1. 非接触式的3D光学测量头:可采用多种三维光学测量技术,同时具备无振动共聚焦、白光干涉CSI、相位差干涉PSI、AI多焦面叠加等四种纳米级三维测量技术,并具备3D膜厚功能。
2. 共聚焦具备通用共聚焦和专用连续共聚焦扫描方式;需要快速扫描样品,每秒扫描范围不少于150um。*3. 照明光源:提供长寿命单波长和复合光的LED光源,具体光源包含:红光 (630 nm); 绿光 (530 nm); 蓝光 (460 nm) 和 白光 (575 nm)。*4. 相机分辨率:5Mpx,采用2448x2048测量阵列。具备高速采集能力,最高采集帧率180帧/秒。
5. 光路使用微显示技术,不含振动或运动部件。*6. 可实现真彩测量 ,和彩色实时观察。
7. 具备观察模式包括但不限于:明场彩色观察、共聚焦观察、白光干涉观察、相位差干涉观察、AI多焦面叠加观察等。*8. 纵向分辨率(系统噪音):≤0.01nm(粗糙度Sa数值可分辨至0.01nm;);显示分辨率:0.001nm。*9. 台阶高度测量精度:≤0.5%,(现场测量20um台阶高度标准块);台阶高度重复性:≤0.1%,(现场测量20um标准台阶高度标准块)。
10. 水平分辨率:水平光学分辨率≤0.16um; 水平像素分辨率≤0.07um。
11.最大观察角度:≥86度。*12. Z轴最大扫描行程:电动40mm;手动150mm。*13. RMS重复性≤0.007nm。
14.可观察最大样品高度≥150mm。
15.电动平台行程:150 mm x 150 mm。*16. 物镜转盘:电动6孔,可同时搭载6颗镜头且齐焦。
17. 设备配置共聚焦物镜及干涉物镜,可同时搭载。
18.纵向单次扫描最大范围:≥10mm。
19.提供专用手动倾斜台:可实现倾斜角度±5度观察,快速实现调平。*20. 最大拼接张数: 175*175。
21.提供专业三维扫描控制软件:可进行样品导览、定位、平台控制、自动对焦、自动亮度调节、参数设定、测量等功能。*22.提供标准测量软件与分析软件,分析软件可作为离线软件单独使用。
23.进口品牌工作站。
24.供货期:签订合同后3个月内。
25.质保期:1年及以上。
1762026年04月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2026年03月05日


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